Tantal hedef nedir?
Tantal hedefi, esas olarak çeşitli ince film biriktirme süreçlerinde kullanılan yüksek saflıkta tantal metal veya tantal alaşımından yapılmış bir malzemedir . tantal hedefi, mükemmel korozyon direnci, yüksek erime noktası ve biyo-uyumluluk ile bilinir ve elektronik, yarı-kesici ve anti-kaplama gibi birçok yüksek teknoloji alanında yaygın olarak kullanılır, elektronik, semizörler, anti-ceket {
Fiziksel ve kimyasal özellikler
Tantal hedefinin ana fiziksel özellikleri şunları içerir:
Erime noktası: 3290K (3017 derece)
Kaynama Noktası: 5731K (5458 derece)
Yoğunluk: 16.68g/cm³
Sertlik: Yüksek sertlik, süneklik ve korozyon direnci
Kimyasal İstikrar: Tantal, kimyasal ekipman ve tıbbi cihaz üretimi için uygun olan Aqua Regia ile reaksiyona girmez
Hazırlık yöntemi
Tantal hedefinin hazırlama yöntemi genellikle aşağıdaki adımları içerir:
1. Toz Metalurjisi: Sodyum termal indirgeme yöntemi, parçacık boyutu 2-3 Mikronlar . ile tantal tozu üretmek için kullanılır.
2. Soğuk İzostatik Presleme: Tantal tozu üzerinde lateks bir pakette, 200 MPa'dan büyük bir basınç ve 20 dakikadan fazla bir tutma süresi ile soğuk izostatik presleme yapılır .
3. sinterleme: sinterleme, 1*10^-2 MPa'dan büyük bir vakum koşulları altında ve 2400 dereceden büyük bir sıcaklık altında, 1 . 5 saatten büyük bir sıcaklık altında gerçekleştirilir.
4. yuvarlanma ve ısıl işlem: Sintered tantal kütük bir tantal hedefi elde etmek için yuvarlanır ve ısıl işlem görür .
Uygulama alanları
Tantal hedefleri yaygın olarak kullanılmaktadır, esas olarak aşağıdakileri içerir:
1. Elektronik ve Yarıiletken Endüstrileri: Entegre devre üretiminde, özellikle Tantalum'un yüksek erime noktası ve düşük direncin onu ideal bir seçim haline getirdiği entegre devre üretiminde bariyer tabakası malzemeleri olarak kullanılır .
2. Korozyon önleyici kaplama: Mükemmel korozyon direnci nedeniyle tantal, ekipmanın servis ömrünü uzatmak için aşırı ortamlara maruz kalan kimyasal ekipman ve metal yüzeyleri kaplamak için kullanılır .
3. optik ve optoelektronik filmler: Tantalum hedefleri, belirli optik özelliklere sahip filmler yapmak için kullanılabilir ve optik cihazlarda, ekranlarda ve sensörlerde yaygın olarak kullanılır .
4. Tıbbi Cihazlar: Tantalum iyi biyouyumlanabilirliğe sahiptir ve insan ret reaksiyonlarını azaltmak için kemik plakaları ve eklem protezleri gibi tıbbi implantları kaplamak için uygundur .